کارخانه های اکسیژن عمدتاً با استفاده از روش جداسازی هوای برودتی اکسیژن تولید می کنند که فرآیند خاص آن به شرح زیر است:
پیش تصفیه هوا: هوا برای حذف گرد و غبار و ناخالصی ها فیلتر می شود و سپس توسط کمپرسور تحت فشار قرار می گیرد.
خنک سازی و مایع سازی: هوای تحت فشار با استفاده از واحد تبرید به حالت مایع خنک می شود.
جداسازی تقطیر: در یک ستون تقطیر، با استفاده از اختلاف نقطه جوش بین اکسیژن (نقطه جوش -183 درجه) و نیتروژن (نقطه جوش -196 درجه)، نیتروژن تبخیر شده و با حرارت دادن و تقطیر جدا می شود و عمدتاً اکسیژن مایع باقی می ماند.
جمعآوری محصول: پس از تبخیر، اکسیژن مایع، اکسیژن با خلوص{0}بالا مورد نظر، معمولاً با خلوص بیش از 99.6% تولید میکند.
این روش از تغییرات فیزیکی برای جداسازی اکسیژن و نیتروژن استفاده می کند. مواد خام به طور گسترده ای در دسترس و ارزان هستند و برای تولید صنعتی در مقیاس بزرگ مناسب هستند. علاوه بر این، روشهای تولید اکسیژن دیگری مانند جذب الک مولکولی و الکترولیز آب وجود دارد، اما روش جداسازی هوا برودتی روش اولیهای است که در صنعت استفاده میشود.